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中央超純水供應系統一般可分為三個(gè)部分

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   中央超純水供應系統采用集中制備,分質(zhì)供水。所謂中央集中制水、分質(zhì)供水,就是用一套水處理系統對自來(lái)水進(jìn)行深度處理,使其達到各科室可直接使用的水質(zhì)標準,再分別用管網(wǎng)供給各科室使用。工藝流程采用為雙套設計;任一套故障或檢修時(shí),另一套能確保正常制水;控制系統為自動(dòng)和手動(dòng)各一套,正常運作時(shí)為全自動(dòng)控制,可無(wú)人值守運走,自動(dòng)控制故障時(shí),手動(dòng)控制可保證設備運作,確保正常供水。
  
  系統特點(diǎn)說(shuō)明:
  1、顯示控制器、動(dòng)畫(huà)式流程圖,實(shí)時(shí)顯示并監控各水處理單元工藝運行狀態(tài);
  2、運行狀態(tài)及參數在線(xiàn)顯示:流量在線(xiàn)顯示、壓力在線(xiàn)顯示、源水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)在線(xiàn)監測及數字顯示等,實(shí)時(shí)了解設備運行情況,方便對系統運行狀態(tài)進(jìn)行監控和分析;
  3、所有水箱液位全自動(dòng)控制:中間水箱、純水箱、水箱之間的設備連接不僅實(shí)現聯(lián)動(dòng),同時(shí)保護每臺泵不至空轉而損壞;
  4、產(chǎn)品水質(zhì)在線(xiàn)監測與不合格水循環(huán)處理:為保證用水點(diǎn)水質(zhì)符合要求,主機產(chǎn)水水質(zhì)實(shí)時(shí)在線(xiàn)監測,并設有水質(zhì)反饋裝置,不合格水質(zhì)循環(huán)再處理;
  5、具備自動(dòng)沖洗管網(wǎng)功能,定期對管路進(jìn)行清洗,以保持管道內部潔凈,管路沖洗時(shí),可直接排放,也可回流到制水設備主機重新利用,以節約水源;
  
  中央超純水供應系統總體來(lái)說(shuō)一般可分為三個(gè)部分:
  超純水制造區(CUB部分);
  超純水拋光循環(huán)區(FAB部分);
  超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區)。
  其中超純水制造區最為復雜其又可分為:預處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。
  預處理部分主要包括:沙濾、活性炭塔(有的廠(chǎng)商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池);
  一次純水部分主要包括:陰陽(yáng)離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過(guò)濾器、紫外線(xiàn)殺菌器及多級反滲透;
  超純水部分主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過(guò)濾器。
  但是由于考慮到在向工藝線(xiàn)設備輸送高純水過(guò)程中,輸水管道會(huì )對水質(zhì)再次造成污染,因而在FAB內一般都設立拋光循環(huán)系統。拋光循環(huán)系統主要以MB為核心,再加上超濾設備(UF),以除去在向工藝生產(chǎn)線(xiàn)輸送純水的過(guò)程中,管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。

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